


| Mühlendurchmesser (D) | 200 $, Yu 246, 303 innen, 350 innen usw |
|---|---|
| Innendurchmesser (d) | 158 $, 190 $, 240 $, 274 $ usw. |
| Anzahl Zähne (Stk) | 28, 32, 69 usw. |
| Netz (#) | 320#~15000# |
| Verarbeitungsobjekt | 6-Zoll-, 8-Zoll-, 10-Zoll-Wafer |
| Gerätegeschwindigkeit (r) | 25.000–50.000 U/min |
| Vorschubgeschwindigkeit (vf) | Rauheit <4µm/s, fein <0,4µm/s |
| Mahlmenge (ae) | Grob <0,6 mm, fein <0,03 mm |