


| Mühlendurchmesser (D) | Φ200 |
|---|---|
| Wellendurchmesser (d) | Φ30 |
| Trogtyp | U-förmig |
| Netz (#) | 800#, 1200# |
| Verarbeitungsobjekt | 6-Zoll- und 8-Zoll-Siliziumkarbid-Wafer |
| Gerätegeschwindigkeit (r) | 28000 U/min |
| Vorschubgeschwindigkeit (vf) | 200-400 mm/min |
| Mahlmenge (ae) | 0,3–0,5 mm |